การใช้งานท่อสแตนเลสสตีลแบบสะอาด

(รวมถึง V+V / VIM+VAR Ultra-High-Purity 316LVV)

คุณสมบัติหลัก

ท่อสแตนเลสสตีลแบบสะอาดมีพื้นผิวภายในแบบ BA (bright annealed) หรือ EP (electropolished), การสร้างอนุภาคต่ำ, สารสกัดต่ำ, ความสามารถในการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม และความต้านทานการกัดกร่อน

V+V หมายถึงกระบวนการหลอมสุญญากาศสองครั้ง VIM+VAR ที่ใช้ในการทำให้วัสดุบริสุทธิ์ มีไว้สำหรับการใช้งานที่ต้องการความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (UHP) ที่เข้มงวดที่สุด โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และระบบจ่ายก๊าซความแม่นยำระดับสูง

1. เซมิคอนดักเตอร์และแผงจอแสดงผล

(การใช้งานหลักสำหรับท่อ V+V)

• ท่อก๊าซพิเศษ UHP ในโรงงานผลิตเวเฟอร์ สำหรับก๊าซกระบวนการความบริสุทธิ์สูง เช่น ซิเลน แอมโมเนีย ไฮโดรเจนคลอไรด์ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ และก๊าซ 5N-8N อื่นๆ

• ระบบจ่ายก๊าซสำหรับ CVD, ALD, การกัด, เตาแพร่กระจาย และกระบวนการที่เกี่ยวข้อง ระบบเหล่านี้เป็นไปตามข้อกำหนด SEMI F20 และควบคุมอนุภาคและสารสกัดจากไอออนโลหะอย่างเข้มงวดเพื่อรักษาผลผลิต

• สายส่งน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) สำหรับวงจรทำความสะอาดเวเฟอร์ โดยทั่วไปที่ 18.2 MΩ·cm

• ระบบกระจายสารเคมีและก๊าซพาหะความบริสุทธิ์สูงในสายการผลิต LCD/OLED

• ท่อก๊าซภายใน, ท่อสุญญากาศ และท่อฐานวาล์ว-แมนิโฟลด์ภายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

2. ชีวเภสัชภัณฑ์และเทคโนโลยีชีวภาพ

(สภาพแวดล้อม GMP / FDA)

• ระบบหมุนเวียนน้ำสำหรับฉีด (WFI) และน้ำบริสุทธิ์

• ท่อส่งผลิตภัณฑ์และการเชื่อมต่อเครื่องปฏิกรณ์ชีวภาพสำหรับวัคซีน, แอนติบอดีโมโนโคลนอล, ยาปฏิชีวนะ และ API

• ระบบที่ต้องการการทำความสะอาดแบบ CIP และการฆ่าเชื้อแบบ SIP ด้วยไอน้ำที่อุณหภูมิ 121°C พื้นผิวภายในที่เรียบและไม่มีรอยต่อช่วยลดการเกาะติดของไบโอฟิล์ม

• ท่อรีเอเจนต์ความบริสุทธิ์สูงในห้องปฏิบัติการและแพลตฟอร์ม R&D

3. อาหารและเครื่องดื่ม

(ท่อสะอาดสำหรับสุขอนามัย; V+V ไม่ค่อยจำเป็น)

• สายส่งผลิตภัณฑ์สำหรับการผลิตนม, เบียร์, น้ำผลไม้, เครื่องปรุงรส และเครื่องดื่มอัดลม

• ท่อสำหรับวัตถุเจือปนอาหาร, สารปรุงแต่งรส และระบบทำความสะอาด CIP เป็นไปตามข้อกำหนดด้านสุขอนามัยอาหาร

• โดยทั่วไปใช้ท่อเกรดสุขอนามัย 304 หรือ 316L

4. ห้องปฏิบัติการ, เครื่องมือวิเคราะห์ และระบบก๊าซสะอาดสำหรับการวิจัย

• ท่อก๊าซพาหะสำหรับเครื่องมือวิเคราะห์ความแม่นยำ เช่น โครมาโทกราฟก๊าซและแมสสเปกโตรมิเตอร์ รวมถึงไนโตรเจน, อาร์กอน และไฮโดรเจน

• ระบบกระจายอากาศบริสุทธิ์และก๊าซเฉื่อยความบริสุทธิ์สูงในห้องปฏิบัติการวิจัย, เคมี และฟิสิกส์ที่สะอาด

• ท่ออากาศอัดสะอาดและอากาศแห้งที่มีจุดน้ำค้างต่ำมากและไม่มีน้ำมันหรืออนุภาค ก็จัดอยู่ในหมวดหมู่นี้เช่นกัน ท่อสแตนเลสสตีลสะอาดเกรด BA มักใช้; ท่อ V+V EP จะถูกเลือกสำหรับข้อกำหนดที่เข้มงวดเป็นพิเศษ

5. ระบบทางการแพทย์

• ท่อออกซิเจนกลาง, สุญญากาศทางการแพทย์ และอากาศอัดทางการแพทย์ในโรงพยาบาล, ห้องผ่าตัด และ ICU

• สายของเหลวสำหรับอุปกรณ์ฟอกไตและระบบน้ำบริสุทธิ์ทางการแพทย์

• วัสดุ V+V ความบริสุทธิ์สูงพิเศษโดยทั่วไปสงวนไว้สำหรับส่วนประกอบเกรดฝัง ท่อสะอาด 316L มาตรฐานเพียงพอสำหรับท่อโรงพยาบาลทั่วไป

6. การผลิตโซลาร์เซลล์, แบตเตอรี่ลิเธียม และพลังงานใหม่

• การจ่ายก๊าซความบริสุทธิ์สูงสำหรับการเติบโตและการกัดเวเฟอร์ซิลิคอนสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์

• การป้องกันก๊าซเฉื่อยความบริสุทธิ์สูงและท่อส่งอิเล็กโทรไลต์ในสายการผลิตแบตเตอรี่ลิเธียม

7. การใช้งานอุตสาหกรรมระดับสูงอื่นๆ

• เคมีภัณฑ์ชั้นดี: รีเอเจนต์และตัวทำละลายความบริสุทธิ์สูงที่ต้องการสารสกัดจากไอออนโลหะต่ำ

• พลังงานนิวเคลียร์และอากาศยาน: ท่อ UHP V+V สำหรับระบบของเหลวที่สำคัญที่ทนต่อการกัดกร่อน, ปล่อยก๊าซต่ำ, และไม่เป็นแม่เหล็ก

• เครื่องมือขั้นสูงและอุปกรณ์สุญญากาศ: ท่อสุญญากาศและท่อจ่าย/เก็บตัวอย่างก๊าซสำหรับเซ็นเซอร์และเครื่องมือระดับสูง

คู่มือการเลือกอย่างรวดเร็ว

ประเด็นสำคัญ

• V+V ไม่ใช่การปรับปรุงพื้นผิว เป็นกระบวนการทำให้วัสดุบริสุทธิ์ที่ได้จากการหลอมสุญญากาศ

• การตกแต่งพื้นผิวจะทำในภายหลังผ่านกระบวนการ BA หรือ EP วัสดุ V+V ร่วมกับการตกแต่ง EP เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับระบบท่อ UHP ของเซมิคอนดักเตอร์

• สำหรับอากาศอัดสะอาด ท่อ BA ก็เพียงพอสำหรับโครงการส่วนใหญ่ อัพเกรดเป็นท่อ V+V + EP เฉพาะเมื่อต้องการจุดน้ำค้างต่ำพิเศษ, การควบคุมอนุภาคระดับ ppb, หรือการจ่ายก๊าซสำหรับเซ็นเซอร์และอุปกรณ์วิเคราะห์ความแม่นยำ